イベント名
テクノロジートレンドシリーズ
発表年月日
2023/01/12
タイトル
極限ナノ材料造形と機能開拓
講演者
真島 豊(東京工業大学), 
抄録
20nm以下の極限ナノスケールで半導体、金属、絶縁体材料をナノ電極と共に、電子線リソグラフィ(EBL)とユニークな無電解金めっき(ELGP)を用いて精密に電子デバイスを造形すると、さまざまな分野で優れた機能を発揮することができるようになります。ここでは超高速トランジスタ、ガスセンサ、DNAシーケンサなどの研究開発に関する取組について紹介します。

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