イベント名
IEICE ICT Pioneers Webinarシリーズ
発表年月日
2023/08/25
タイトル
半導体光集積デバイス研究の40年
講演者
中野 義昭(東京大学 大学院工学系研究科 教授), 
抄録
1982年に大学院に入学した後、今日までの約40年間、半導体に基づく発光・光制御デバイス、光集積回路、太陽電池の研究、およびそれらを作製する基礎となるエピタキシャル成長・微細加工プロセス技術の研究に携わってきた経験をもとにお話ししたい。より具体的には、最初の10年は分布帰還型半導体レーザの研究、次の10年は有機金属気相エピタキシのメカニズム解明とモノリシック光集積回路作製への応用、その次の10年はデジタル光デバイス・回路の研究とフォトニックネットワークへの応用、最近の10年は新世代光通信、光コンピューティング、光センシングに向けた集積光デバイス・回路の研究、および化合物半導体高効率太陽電池の研究を行なってきた。この間、対象とする半導体は、GaAs系混晶、InP系混晶、GaN系混晶、シリコンと拡大し、結晶成長技術も液相エピタキシ、分子線エピタキシ、有機金属気相エピタキシと変遷してきた。今回の講演では、これまでの40年間を振り返って、何がうまく行ったか、何がうまく行かなかったかに着目し、皆様の参考にして頂けるようにお話ししたい。特に、中堅・若手研究者の皆様の将来に役立つメッセージを多く発することができればと思う。

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